《微机电系统制造技术：MEMS的崛起与挑战》

随着科技的飞速发展，微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，简称MEMS）作为一种重要的技术领域，已经在众多行业中发挥着关键作用，MEMS技术涉及微电子、微机械、材料科学和制造工艺等多个学科，其制造技术的进步对于MEMS的发展至关重要，本文将围绕一本关于MEMS制造技术的书籍展开，介绍其作者、出版社、出版时间以及书籍的大纲和内容。

书籍信息：

书名：《MEMS制造技术：原理、工艺与设备》

作者：张华、李明

出版社：机械工业出版社

出版时间：2018年

介绍：

《MEMS制造技术：原理、工艺与设备》是一本全面介绍MEMS制造技术的专业书籍，该书由张华和李明两位资深专家共同编写，旨在为从事MEMS研究和制造的工程师提供一本实用的参考书，本书内容丰富，涵盖了MEMS制造技术的各个方面，从基本原理到先进工艺，再到相关设备，为读者提供了全面的知识体系。

大纲：

第一章：MEMS概述

1、1 MEMS的定义与分类

1、2 MEMS的发展历程

1、3 MEMS的应用领域

第二章：MEMS制造工艺基础

2、1 MEMS制造工艺概述

2、2 光刻技术

2、3 刻蚀技术

2、4 剥离技术

2、5 化学气相沉积技术

2、6 物理气相沉积技术

第三章：MEMS微机械结构制造

3、1 微机械结构设计

3、2 微机械结构制造工艺

3、3 微机械结构的性能测试

第四章：MEMS微电子器件制造

4、1 微电子器件设计

4、2 微电子器件制造工艺

4、3 微电子器件的性能测试

第五章：MEMS制造设备与技术

5、1 光刻设备

5、2 刻蚀设备

5、3 剥离设备

5、4 化学气相沉积设备

5、5 物理气相沉积设备

第六章：MEMS制造中的质量控制与可靠性

6、1 质量控制方法

6、2 可靠性测试与评估

6、3 质量控制与可靠性在MEMS制造中的应用

本书首先介绍了MEMS的基本概念、发展历程和应用领域，为读者提供了对MEMS的整体认识，详细阐述了MEMS制造工艺的基础知识，包括光刻、刻蚀、剥离、化学气相沉积和物理气相沉积等关键技术，随后，本书分别介绍了MEMS微机械结构和微电子器件的制造工艺，并对其性能测试进行了探讨，在第五章中，本书重点介绍了MEMS制造中常用的设备和技术，本书对MEMS制造中的质量控制与可靠性进行了深入分析，为读者提供了宝贵的实践经验。

《MEMS制造技术：原理、工艺与设备》是一本内容丰富、实用性强的专业书籍，对于从事MEMS研究和制造的工程师来说，是一本不可或缺的参考资料，通过阅读本书，读者可以全面了解MEMS制造技术的各个方面，为我国MEMS产业的发展贡献力量。